
Yarı İletken Endüstrisinde Paslanmaz Boruların Uygulaması Paslanmaz borular, özellikle yüksek saflıkta dikişsiz paslanmaz çelik borular (316L, 316L EP, BA), yarı iletken üretim tesislerinde (Fab) vazgeçilmez bir temel temel malzemedir ve ana...
Yarı iletken endüstrisinde paslanmaz çelik boruların uygulanması
Paslanmaz çelik borular, özellikle yüksek saflıkta dikişsiz paslanmaz çelik borular (316L, 316L EP, BA), yarı iletken üretim tesislerinde (Fab'lar) vazgeçilmez bir temel temel malzemedir ve esas olarak ultra saf gazların, kimyasalların ve ultra saf suyun taşınması görevlerini yerine getirir.
Yarı iletken çip üretimi kirlenmeye karşı son derece hassastır:
1. Parçacık kirliliği
2. Metal Kirliliği
3. Nem kirliliği
4.Organik maddeyle kirlenme (TOC)
Nanometre düzeyindeki yabancı maddeler bile tüm levhanın arızalanmasına neden olabilir.
Bu nedenle ulaşım sistemi aşağıdaki özelliklere sahip olmalıdır:
1.Ultra yüksek saflık
2. Son derece düşük kirlilik emisyonu
3. Korozyon direnci
4. Parçacık oluşumu yok
5.Uzun vadeli istikrarlı çalışma yeteneği
Elektro-parlatılmış (EP) 316L paslanmaz çelik borular artık ana çözüm haline geldi.
Ana uygulama senaryoları:
1.Özel gaz besleme sistemleri
2. Ultra saf su sistemleri
3. Kimyasal tedarik sistemleri
4.Vakum sistemleri
Yarı İletken Endüstrisinde Yaygın Olarak Kullanılan Paslanmaz Boru Standartları
| İsim | Standart |
| Malzeme | 316L |
| Standart | ASTM A269 |
| Ultra yüksek saflık standardı | YARI F20 |
| Yüzey işleme | B.A., E.P. |
| Pürüzlülük | Ra ≤ 0,25 mikron |
| Kaynak yöntemi | Orbital kaynak |
| Temizlik sınıfı | Sınıf 100 / ISO 5 |